1、硅石粉酸解法在衬铅的酸解设备中先加入氢氟酸，然后逐渐加入硅石粉，使之反应。反应完成后，加入稻糠灰以中和游离的氢氟酸，同时起到漂白溶液的作用，过滤溶液，在滤出的清液中加入适量的黄丹粉(PbO)以除去氢氟酸中带入的硫酸根，再经过滤，制得氟硅酸成品。

　　6HF+SiO2→H2SiF6+2H2O

　　2、由湿法磷酸生产中释放出四氟化硅经水吸收制得。亦可由硅砂与氢氟酸反应制得或用硅砂、氟化钙和浓硫酸混合加热制得。